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    PECVD60高真空管式爐

    • 產品名稱:PECVD60高真空管式爐
    • 產品分類:PECVD60高真空管式爐
    • 公司名稱:上海微行爐業有限公司
    • 業務咨詢:187-9686-2679
    • 江蘇生產基地:江蘇省昆山市開發區六時涇路28號
    • 添加時間: 20/11/24
    產品詳情
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    PECVD60高真空管式爐的主要特點:
    1.氣體預熱——增加前端氣體預熱區,沉積速度更快,成膜效果更好;
    2.AIO控制系統——加熱控制、等離子射頻控制、氣體流量控制、真空系統控制集中于一個7英寸觸摸屏進行統一集中調節和操控,協調控制——科探AIO控制系統;
    3.管內壓力自動平衡——管內壓力實時監測,自動平衡管內壓力。
    4.智能氣路通斷——每路氣體均可定時通斷,省時省力;
    5.射頻功率和開關定時控制——預先設定好功率的大小和打開與關閉的時間,自動運行;
    6.爐膛移動速度可調——根據實驗要求,用戶可設定爐膛左右移動的速度可距離;
    7.整機結構融為一體——移動方便,避免分散組裝的困擾。


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